Application of high-resolution X-ray diffractometry to the structural study of epitaxial multilayers on novel index surfaces

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Zeitschrift:
Microelectronics Journal

ISSN: 0026-2692

Datum der Publikation: 1997

Ausgabe: 28

Nummer: 8-10

Seiten: 777-784

Art: Artikel

DOI: 10.1016/S0026-2692(96)00116-4 GOOGLE SCHOLAR