Conductance transient comparative analysis of ECR-PECVD deposited SiN x, SiO2/SiNx and SiOxNy dielectric films on silicon substrates
- Castán, H.
- Dueñas, S.
- Barbolla, J.
- Del Prado, A.
- San Andrés, E.
- Mártil, I.
- González-Díaz, G.
Actes:
Materials Research Society Symposium - Proceedings
ISSN: 0272-9172
Any de publicació: 2003
Volum: 786
Pàgines: 83-87
Tipus: Aportació congrés