Thermally induced improvements on SiNx:H/lnP devices

  1. Redondo, E.
  2. Blanco, N.
  3. Mártil, I.
  4. González-Díaz, G.
  5. Pelaez, R.
  6. Dueñas, S.
  7. Castán, H.
Zeitschrift:
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

ISSN: 0734-2101

Datum der Publikation: 1999

Ausgabe: 17

Nummer: 4

Seiten: 2178-2182

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1116/1.582107 GOOGLE SCHOLAR

Ziele für nachhaltige Entwicklung

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