Emission line intensities in an r.f. sputtering glow discharge system

  1. Hernández-Rojas, J.L.
  2. Lucía, M.L.
  3. Santamaría, J.
  4. Gonzáles-Díaz, G.
  5. Mártil, I.
  6. Sánchez-Quesada, F.
Zeitschrift:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Datum der Publikation: 1993

Ausgabe: 228

Nummer: 1-2

Seiten: 133-136

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0040-6090(93)90581-9 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus