Optical characterisation of SIMOX structures formed by successive implantation and annealing

  1. Pérez-Rodriguez, A.
  2. Romano-Rodríguez, A.
  3. Macía, J.
  4. Morante, J.R.
  5. Martin, E.
  6. Jiménez, J.
Revista:
Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B

ISSN: 0168-583X

Año de publicación: 1994

Volumen: 84

Número: 2

Páginas: 275-280

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/0168-583X(94)95769-X GOOGLE SCHOLAR
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