Micro-Raman study of UV laser ablation of GaAs and Si substrates

  1. García, C.
  2. Ramos, J.
  3. Prieto, A.C.
  4. Jiménez, J.
  5. Geertsen, C.
  6. Lacour, J.L.
  7. Mauchien, P.
Revue:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Année de publication: 1996

Volumen: 96-98

Pages: 370-375

Type: Article

DOI: 10.1016/0169-4332(95)00488-2 GOOGLE SCHOLAR
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