Boron pileup and clustering in silicon-on-insulator films
- Vuong, H.-H.
- Gossmann, H.-J.
- Pelaz, L.
- Celler, G.K.
- Jacobson, D.C.
- Barr, D.
- Hergenrother, J.
- Monroe, D.
- Venezia, V.C.
- Rafferty, C.S.
- Hillenius, S.J.
- McKinley, J.
- Stevie, F.A.
- Granger, C.
ISSN: 0003-6951
Año de publicación: 1999
Volumen: 75
Número: 8
Páginas: 1083-1085
Tipo: Artículo