Conformal MOVPE of (Al)GaAs on silicon using alternative chlorine-containing precursors

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Revista:
Journal of Crystal Growth

ISSN: 0022-0248

Año de publicación: 2000

Volumen: 221

Número: 1-4

Páginas: 225-230

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0022-0248(00)00690-4 GOOGLE SCHOLAR
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