Atomistic modeling of complex silicon processing scenarios

  1. Jaraiz, M.
  2. Castrillo, P.
  3. Pinacho, R.
  4. Pelaz, L.
  5. Barbolla, J.
  6. Gilmer, G.H.
  7. Rafferty, C.S.
Actes de conférence:
Materials Research Society Symposium - Proceedings

ISSN: 0272-9172

Année de publication: 2000

Volumen: 610

Type: Communication dans un congrès

DOI: 10.1557/PROC-610-B11.1 GOOGLE SCHOLAR

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