Tantalum pentoxide obtained from TaNx and TaSi2 anodisation: An inexpensive and thermally stable high k dielectric

  1. Dueñas, S.
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  5. Sullivan, P.A.
Revista:
Solid-State Electronics

ISSN: 0038-1101

Año de publicación: 2001

Volumen: 45

Número: 8

Páginas: 1441-1450

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0038-1101(01)00125-3 GOOGLE SCHOLAR
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