Formation of SiGe nanoparticles by dry and steam thermal oxidation of thin polycrystalline layers

  1. Ortiz, M.I.
  2. Ballesteros, C.
  3. Rodríguez, A.
  4. Sangrador, J.
  5. Rodríguez, T.
  6. Avella, M.
  7. Martín, P.
  8. Jiménez, J.
Actas:
Materials Research Society Symposium - Proceedings

ISSN: 0272-9172

Año de publicación: 2003

Volumen: 737

Páginas: 511-516

Tipo: Aportación congreso

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