Monte Carlo modeling of amorphization resulting from ion implantation in Si

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Revista:
Computational Materials Science

ISSN: 0927-0256

Año de publicación: 2003

Volumen: 27

Número: 1-2

Páginas: 1-5

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1016/S0927-0256(02)00416-0 GOOGLE SCHOLAR
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