Physically based modelling of damage, amorphization, and recrystallization for predictive device-size process simulation

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Revista:
Materials Science and Engineering B: Solid-State Materials for Advanced Technology

ISSN: 0921-5107

Año de publicación: 2004

Volumen: 114-115

Número: SPEC. ISS.

Páginas: 151-155

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1016/J.MSEB.2004.07.039 GOOGLE SCHOLAR
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