Porous SiGe nanostructures formed by electrochemical etching of thin Poly-SiGe films
- Del Caño, T.
- Sanz, L.F.
- Martín, P.
- Avella, M.
- Jiménez, J.
- Rodríguez, A.
- Sangrador, J.
- Rodríguez, T.
- Torres-Costa, V.
- Martín-Palma, R.J.
- Martínez-Duart, J.M.
Revista:
Journal of the Electrochemical Society
ISSN: 0013-4651
Año de publicación: 2004
Volumen: 151
Número: 5
Tipo: Artículo