Porous SiGe nanostructures formed by electrochemical etching of thin Poly-SiGe films

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Revista:
Journal of the Electrochemical Society

ISSN: 0013-4651

Año de publicación: 2004

Volumen: 151

Número: 5

Tipo: Artículo

DOI: 10.1149/1.1695531 GOOGLE SCHOLAR