Low temperature ECR-PECVD microcrystalline SiC growth by pulsed gas flows

  1. Hernádez, M.J.
  2. Cervera, M.
  3. Piqueras, J.
  4. Del Caño, T.
  5. Jiménez, J.
Colección de libros:
Materials Science Forum

ISSN: 1662-9752,  0255-5476

Año de publicación: 2004

Volumen: 457-460

Número: I

Páginas: 309-312

Tipo: Aportación congreso

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