Dose loss and segregation of boron and arsenic at the Si/SiO2 interface by atomistic kinetic Monte Carlo simulations
ISSN: 0921-5107
Année de publication: 2005
Volumen: 124-125
Número: SUPPL.
Pages: 392-396
Type: Communication dans un congrès
ISSN: 0921-5107
Année de publication: 2005
Volumen: 124-125
Número: SUPPL.
Pages: 392-396
Type: Communication dans un congrès