Boron activation and redistribution during thermal treatments after solid phase epitaxial regrowth

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  5. Venezia, V.C.
Zeitschrift:
Materials Science and Engineering B: Solid-State Materials for Advanced Technology

ISSN: 0921-5107

Datum der Publikation: 2005

Ausgabe: 124-125

Nummer: SUPPL.

Seiten: 205-209

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1016/J.MSEB.2005.08.067 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus