Morphology of as-implanted damage in silicon: A molecular dynamics study

  1. Santos, I.
  2. Marqués, L.A.
  3. Pelaz, L.
  4. Aboy, M.
  5. López, P.
  6. Barbolla, J.
Actas:
2005 Spanish Conference on Electron Devices, Proceedings

ISBN: 9780780388109

Año de publicación: 2005

Volumen: 2005

Páginas: 447-450

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/SCED.2005.1504478 GOOGLE SCHOLAR
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