Ion beam analysis of the dry thermal oxidation of thin polycrystalline SiGe films

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Revista:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Año de publicación: 2005

Volumen: 240

Número: 1-2

Páginas: 405-408

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1016/J.NIMB.2005.06.137 GOOGLE SCHOLAR
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