Study of atomic layer deposited gadolinium oxide thin films on silicon

  1. Dueñias, S.
  2. Castán, H.
  3. García, H.
  4. Gómez, A.
  5. Bállon, L.
  6. Kukli, K.
  7. Hantapää, T.
  8. Lu, J.
  9. Ritala, M.
  10. Leskela, M.
Actes:
Materials Research Society Symposium Proceedings

ISSN: 0272-9172

ISBN: 9781605604282

Any de publicació: 2007

Volum: 996

Pàgines: 133-138

Tipus: Aportació congrés

GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus