Molecular dynamics simulation of octadecaborane implantation into silicon

  1. Marqués, L.A.
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Actas:
2007 Spanish Conference on Electron Devices, Proceedings

ISBN: 9781424408689

Año de publicación: 2007

Páginas: 44-47

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/SCED.2007.383992 GOOGLE SCHOLAR
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