Molecular dynamics modeling of octadecaborane implantation into Si

  1. Marqués, L.A.
  2. Pelaz, L.
  3. Santos, I.
  4. López, P.
  5. Aboy, M.
Actas:
2007 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices, SISPAD 2007

ISBN: 9783211728604

Año de publicación: 2007

Páginas: 17-20

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1007/978-3-211-72861-1_4 GOOGLE SCHOLAR
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