Electrical characterization of high-k dielectrics by means of flat-band voltage transient recording

  1. Duenas, S.
  2. Castan, H.
  3. Garcia, H.
  4. Bailon, L.
  5. Kukli, K.
  6. Ritala, M.
  7. Leskela, M.
Actes:
Materials Research Society Symposium Proceedings

ISSN: 0272-9172

ISBN: 9781605604282

Any de publicació: 2007

Volum: 996

Pàgines: 169-174

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1557/PROC-0996-H07-11 GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible