Molecular dynamics study of B18H22 cluster implantation into silicon

  1. Marqués, L.A.
  2. Pelaz, L.
  3. Santos, I.
Revista:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Año de publicación: 2007

Volumen: 255

Número: 1 SPEC. ISS.

Páginas: 242-246

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.NIMB.2006.11.038 GOOGLE SCHOLAR
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