Defects and mechanical stress during the dry etching of inp photonic structures: A cathodo-iuminescence study

  1. Avella, M.
  2. Jimenez, J.
  3. Pommereau, F.
  4. Landesman, J.P.
  5. Rhallabi, A.
Actas:
Conference Proceedings - International Conference on Indium Phosphide and Related Materials

ISSN: 1092-8669

ISBN: 9781424422593

Año de publicación: 2008

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/ICIPRM.2008.4703036 GOOGLE SCHOLAR
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