Introduction of defects during the dry etching of InP photonic structures: A cathodo-luminescence study

  1. Avella, M.
  2. Jiménez, J.
  3. Pommereau, F.
  4. Landesman, J.-P.
  5. Rhallabi, A.
Revista:
Journal of Materials Science: Materials in Electronics

ISSN: 0957-4522,  1573-482X

Año de publicación: 2008

Volumen: 19

Número: SUPPL. 1

Tipo: Artículo

DOI: 10.1007/S10854-007-9565-1 GOOGLE SCHOLAR
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