The role of implanter parameters on implant damage generation: An atomistic simulation study

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Actas:
AIP Conference Proceedings

ISSN: 1551-7616,  0094-243X

ISBN: 9780735405974

Año de publicación: 2008

Volumen: 1066

Páginas: 209-212

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1063/1.3033594 GOOGLE SCHOLAR
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