F+ implants in crystalline Si: The Si interstitial contribution

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Actas:
Materials Research Society Symposium Proceedings

ISSN: 0272-9172

ISBN: 9781605110400

Año de publicación: 2008

Volumen: 1070

Páginas: 279-284

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1557/PROC-1070-E06-07 GOOGLE SCHOLAR
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