Atomistic simulation techniques in front-end processing

  1. Marqués, L.A.
  2. Pelaz, L.
  3. Santos, I.
  4. López, P.
  5. Aboy, M.
Konferenzberichte:
Materials Research Society Symposium Proceedings

ISSN: 0272-9172

ISBN: 9781605110400

Datum der Publikation: 2008

Ausgabe: 1070

Seiten: 237-248

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1557/PROC-1070-E06-01 GOOGLE SCHOLAR