Front-end process modeling in silicon

  1. Pelaz, L.
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Revista:
European Physical Journal B

ISSN: 1434-6028 1434-6036

Año de publicación: 2009

Volumen: 72

Número: 3

Páginas: 323-359

Tipo: Artículo

DOI: 10.1140/EPJB/E2009-00378-9 GOOGLE SCHOLAR