Electrical characterization of high-k based MIS capacitors using flat-band voltage transients

  1. García, H.
  2. Dueñas, S.
  3. Castán, H.
  4. Gómez, A.
  5. Bailón, L.
  6. Kukli, K.
  7. Hatanpää, T.
  8. Aarik, J.
  9. Aidla, A.
  10. Ritala, M.
  11. Leskelä, M.
Actes:
Proceedings of the 2009 Spanish Conference on Electron Devices, CDE'09

ISBN: 9781424428397

Any de publicació: 2009

Pàgines: 223-226

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1109/SCED.2009.4800471 GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible

Font de les dades: Scopus