Modeling of defect generation and dissolution in ion implanted semiconductors

  1. Pelaz, L.
  2. Marqués, L.A.
  3. López, P.
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Actas:
AIP Conference Proceedings

ISSN: 0094-243X,  1551-7616

ISBN: 9780735408760

Año de publicación: 2010

Volumen: 1321

Páginas: 176-180

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1063/1.3548340 GOOGLE SCHOLAR
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