Molecular implants and cold implants: Two new strategies for junction formation of future Si devices

  1. Santos, I.
  2. Marqués, L.A.
  3. López, P.
  4. Pelaz, L.
  5. Aboy, M.
Actas:
Proceedings of the 8th Spanish Conference on Electron Devices, CDE'2011

ISBN: 9781424478637

Año de publicación: 2011

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/SCED.2011.5744160 GOOGLE SCHOLAR
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