Simulation study of ion implanted defects associated to luminescence centers in silicon

  1. Aboy, M.
  2. Santos, I.
  3. Pelaz, L.
  4. Marqués, L.A.
  5. López, P.
Actas:
Proceedings of the 8th Spanish Conference on Electron Devices, CDE'2011

ISBN: 9781424478637

Año de publicación: 2011

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/SCED.2011.5744168 GOOGLE SCHOLAR