Modeling of defects, dopant diffusion and clustering in silicon
ISSN: 1572-8137, 1569-8025
Año de publicación: 2014
Volumen: 13
Número: 1
Páginas: 40-58
Tipo: Artículo
ISSN: 1572-8137, 1569-8025
Año de publicación: 2014
Volumen: 13
Número: 1
Páginas: 40-58
Tipo: Artículo