Conduction and stability of holmium titanium oxide thin films grown by atomic layer deposition

  1. Castán, H.
  2. García, H.
  3. Dueñas, S.
  4. Bailón, L.
  5. Miranda, E.
  6. Kukli, K.
  7. Kemell, M.
  8. Ritala, M.
  9. Leskelä, M.
Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Any de publicació: 2015

Volum: 591

Pàgines: 55-59

Tipus: Article

DOI: 10.1016/J.TSF.2015.08.027 GOOGLE SCHOLAR