Silicon oxide-niobium oxide mixture films and nanolaminates grown by atomic layer deposition from niobium pentaethoxide and hexakis(ethylamino) disilane
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- Dueñas, S.
- Mizohata, K.
- Ritala, M.
- Leskel, M.
ISSN: 1361-6528, 0957-4484
Año de publicación: 2020
Volumen: 31
Número: 19
Tipo: Artículo