Study of the influence of the dielectric composition of Al/Ti/ZrO2:Al2O3/TiN/Si/Al structures on the resistive switching behavior for memory applications

  1. Castán, H.
  2. Dueñas, S.
  3. Kukli, K.
  4. Kemell, M.
  5. Ritala, M.
  6. Leskelä, M.
Actas:
ECS Transactions

ISSN: 1938-5862 1938-6737

ISBN: 9781607688365

Año de publicación: 2018

Volumen: 85

Número: 8

Páginas: 143-148

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1149/08508.0143ECST GOOGLE SCHOLAR