Molecular dynamics simulation of the early stages of self-interstitial clustering in silicon

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Revue:
Materials Science in Semiconductor Processing

ISSN: 1369-8001

Année de publication: 2016

Volumen: 42

Pages: 235-238

Type: Article

DOI: 10.1016/J.MSSP.2015.07.020 GOOGLE SCHOLAR lock_openUVADOC editor

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