Atomistic modeling of ion implantation technologies in silicon

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Zeitschrift:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Datum der Publikation: 2015

Ausgabe: 352

Seiten: 148-151

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.NIMB.2014.11.105 GOOGLE SCHOLAR lock_openUVADOC editor