Continuum treatment of spatial correlation in damage annealing

  1. Hobler, G.
  2. Pelaz, L.
  3. Rafferty, C.S.
Revista:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Año de publicación: 1999

Volumen: 153

Número: 1-4

Páginas: 172-176

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0168-583X(99)00045-2 GOOGLE SCHOLAR
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