Uniformity of Fe-diffused semi-insulating InP wafers

  1. Fornari, R.
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  6. Brozel, M.
  7. Nicholls, M.
Actas:
Conference Proceedings - International Conference on Indium Phosphide and Related Materials

ISSN: 1092-8669

Año de publicación: 1999

Páginas: 259-262

Tipo: Artículo