Raman scattering and photoluminescence analysis of SOI/SIMOX structures obtained by sequential implantation and annealing correlated with cross sectional TEM

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Revista:
Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B

ISSN: 0168-583X

Año de publicación: 1991

Volumen: 55

Número: 1-4

Páginas: 714-717

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/0168-583X(91)96264-L GOOGLE SCHOLAR
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