InP surface properties under ICP plasma etching using mixtures of chlorides and hydrides
- Liu, B.
- Landesman, J-P.
- Leclercq, J-L.
- Rhallabi, A.
- Avella, M.
- Gonzalez, M. A.
- Jimenez, J.
- Guilet, S.
- Cardinaud, C.
- Pommereau, F.
ISBN: 978-0-7803-9557-2
Año de publicación: 2006
Páginas: 279-280
Congreso: 12th International Conference on Indium Phosphide and Related Materials
Tipo: Aportación congreso