InP surface properties under ICP plasma etching using mixtures of chlorides and hydrides

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  10. Pommereau, F.
Libro:
2006 INTERNATIONAL CONFERENCE ON INDIUM PHOSPHIDE AND RELATED MATERIALS CONFERENCE PROCEEDINGS

ISBN: 978-0-7803-9557-2

Año de publicación: 2006

Páginas: 279-280

Congreso: 12th International Conference on Indium Phosphide and Related Materials

Tipo: Aportación congreso