JESUS
ARIAS ALVAREZ
PROFESORES TITULARES DE UNIVERSIDAD
Emilio
Lora-Tamayo D'Ocón
Publicaciones en las que colabora con Emilio Lora-Tamayo D'Ocón (1)
1992
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A study of metal-oxide-semiconductor capacitors fabricated on SF 6 and SF6+Cl2 reactive-ion-etched Si
Journal of Applied Physics, Vol. 71, Núm. 6, pp. 2710-2716