JESUS
ARIAS ALVAREZ
PROFESORES TITULARES DE UNIVERSIDAD
Universitat Autònoma de Barcelona
Barcelona, EspañaPublications en collaboration avec des chercheurs de Universitat Autònoma de Barcelona (1)
1992
-
A study of metal-oxide-semiconductor capacitors fabricated on SF 6 and SF6+Cl2 reactive-ion-etched Si
Journal of Applied Physics, Vol. 71, Núm. 6, pp. 2710-2716