Electricidad y Electrónica
Departament
![Foto de Electricidad y Electrónica](/img/noimage.png)
![Foto de Universidad Autónoma de Madrid](/img/noimage_org.png)
Universidad Autónoma de Madrid
Madrid, EspañaPublicacions en col·laboració amb investigadors/es de Universidad Autónoma de Madrid (1)
1998
-
Good quality Al/SiNx:H/InP metal-insulator-semiconductor devices obtained with electron cyclotron resonance plasma method
Journal of Applied Physics, Vol. 83, Núm. 1, pp. 600-603