Fachbereich
Electricidad y Electrónica
Kongressbeiträge (2) Publikationen, an denen Forscher/innen teilgenommen haben
1997
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Atomistic model of transient enhanced diffusion and clustering of boron in silicon
Materials Research Society Symposium - Proceedings
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Boron-Enhanced-Diffusion of boron: The limiting factor for ultra-shallow junctions
Technical Digest - International Electron Devices Meeting, IEDM