Application of high-resolution X-ray diffractometry to the structural study of epitaxial multilayers on novel index surfaces

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Revista:
Microelectronics Journal

ISSN: 0026-2692

Año de publicación: 1997

Volumen: 28

Número: 8-10

Páginas: 777-784

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0026-2692(96)00116-4 GOOGLE SCHOLAR
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