Thermally induced improvements on SiNx:H/lnP devices

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Revista:
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

ISSN: 0734-2101

Año de publicación: 1999

Volumen: 17

Número: 4

Páginas: 2178-2182

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1116/1.582107 GOOGLE SCHOLAR

Objetivos de desarrollo sostenible

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